一、真空抽气部分
莱宝粗抽泵＋I 10 ON BOARD 冷凝泵
二、真空检测
INFICON：BPG400真空规
三、蒸发系统控制及膜厚检测
1、蒸发控制器：运行＋设定
2、触摸屏和电位器分别控制
3、电压、电流显示
4、晶控仪：控制蒸发电流大小，控制蒸发速率，显示厚度；MDC360或SYSCON 2000
四、气体控制
2路质量流量控制器MKS1179A
五、使用领域
1、半导体：金属化
2、TFT：金属导线
3、微结构：金属化
六、设备特点
1、置
2、高
3、
莱宝粗抽泵＋I 10 ON BOARD 冷凝泵
二、真空检测
INFICON：BPG400真空规
三、蒸发系统控制及膜厚检测
1、蒸发控制器：运行＋设定
2、触摸屏和电位器分别控制
3、电压、电流显示
4、晶控仪：控制蒸发电流大小，控制蒸发速率，显示厚度；MDC360或SYSCON 2000
四、气体控制
2路质量流量控制器MKS1179A
五、使用领域
1、半导体：金属化
2、TFT：金属导线
3、微结构：金属化
六、设备特点
1、置
2、高
3、
