在过去的30年内,炉子的设计由于泰斯达公司不断的更新,了其性能和耐用性。程序控制器经过数次重复设计,以增强其操作的简易度和性。TYTAN炉系统的设计让其具备了耐用性、稳定性和适用性。TYTAN炉系统为硅晶片的加工行业提供了一个的途径。隔热包产品提供了更紧凑的炉体-其性能却不打。这种设计导致了均匀性良好的处理工艺和更高的硅片生产产量。TYTAN技术优势为:
■占地空间小,节约了40%的洁净室空间
■优质的温度和处理的均匀性
■正常运行时间大于95%,生产能力突出
■在上,过竞争对手设计的50%
■加工生产量更高
■了对气体处理环境的控制
■倒流入炉管的空气量小
■使用的气体更少
■生成的颗粒少
■生产成本降低