AME-8100等离子体刻蚀机用于反应离子蚀刻氧化物，氮化物。可针对4"，5"或6"晶圆。
等离子体刻蚀机用于反应离子蚀刻氧化物，氮化物。可针对4"，5"或6"晶圆。
设备描述：
1、真空系统：爱德华干泵＋I冷凝泵＋LEYBOLD分子泵
2、真空检测：TC guage＋ION gauge＋MKS薄膜压力规
3、过程检测：激光薄膜厚度检测
4、工作气体：5路工作气体＋环行布气系统
5、工件尺寸：4寸-6寸，可改进到更大尺寸。如4寸，可装载24片
6、工作电源：射频功率源＋匹配箱
7、控制系统：全自动工艺流程，高集成控制系统
8、保护：考虑因素，人性话设计。
等离子体刻蚀机用于反应离子蚀刻氧化物，氮化物。可针对4"，5"或6"晶圆。
设备描述：
1、真空系统：爱德华干泵＋I冷凝泵＋LEYBOLD分子泵
2、真空检测：TC guage＋ION gauge＋MKS薄膜压力规
3、过程检测：激光薄膜厚度检测
4、工作气体：5路工作气体＋环行布气系统
5、工件尺寸：4寸-6寸，可改进到更大尺寸。如4寸，可装载24片
6、工作电源：射频功率源＋匹配箱
7、控制系统：全自动工艺流程，高集成控制系统
8、保护：考虑因素，人性话设计。
