光伏薄膜铝背电生产线

　　该系统专门针对光伏太阳能所需要的铝电镀膜设计，分为7个真空室：进料室、辉光清洗室、过渡室、溅射室1＋溅射室2、传输室、缓冲室、出料室。系统整体设计严格，采用分子泵高真空机组，可配备高溅射效率的平面靶或旋转靶，采用直流溅射或中频溅射，可以率的溅射AL膜、ITO膜、SIO2膜、银膜、铬膜、TiO膜等。
　　设备主要技术参数：
　　真空连续式镀膜流水线配置表
　　序号  项目  规格及说明
　　1  设备主体  
　　1.1  外形尺寸  12.6m*2.4*1.6m（长*宽*高）
　　1.2  整体重量  17吨
　　2  传输部分  
　　2.1  工件盘尺寸  1210*600mm
　　2.2  驱动电机  LENZE　MDSKSRS036-13
　　3  真空系统  
　　3.1  K1进料室泵组  PAC250＋WKP500A
　　3.2  K2清洗室泵组  DUO65＋TMH1001
　　3.3  K3传输室泵组  TMH1001
　　3.4  K4-1镀膜室泵组  TMH1001＋TMH521
　　3.5  K4-2镀膜室泵组  TMH1001＋TMH521
　　3.6  K5传输室泵组  TMH1001　PAC90＋WKP500A　DUO6
　　3.7  K6过渡室泵组  DUO65＋TMH1001
　　3.8  K7出料室泵组  PAC250＋WKP500A
　　3.9  冷凝泵  POLYCOLD　PFC-1102HC
　　4  真空压力检测  
　　4.1  皮拉尼规  TPR　265
　　4.2  全量程检测真空计  PKR251
　　4.3  过程压力测量  MKS　Baratron627B
　　4.4  压力开关  PN3009
　　5  气流控制系统  
　　5.1  气流量控制器  MKS　2179A
　　6  溅射系统及电源  
　　6.1  辉光清洗电源  霍庭格　TIE　10/100P
　　6.2  溅射电源  霍庭格　TIG　DCS30
　　6.3  清洗电尺寸  580*160
　　6.4  阴溅射靶尺寸  900*240
　　7  自动化控制系统  
　　7.1  机  SEMITIC　PANEL　PC670
　　7.2  可编程控制器  西门子　PROFIBUS　网络　S-318CPU
　　8  外围配置及要求  
　　8.1  电源输入要求  380V　240KW
　　8.2  冷水机  K-2-38/5-2
　　8.3  压缩空气  压力6-7BAR　2-3立方/小时
　　8.4  氮气  25立方/小时
　　8.5  氩气  120L/小时
　　8.6  环境要求  15-35度湿度〈70%
　　8.7  设备噪音指数  〈70分贝