1、设备整体尺寸：2000mm*18000mm*1600mm（宽*深*高）
2、真空室尺寸：直径700、900、1100mm
3、平行板电尺寸：直径600、800、1000mm
4、电冷却及调节：水冷，可调节
5、真空系统：粗抽泵＋分子泵机组
6、限真空度：1*10-6mabr.
7、溅射电源：AE 射频直流电源3KW-5KW-10KW
8、工艺匹配：全自动匹配
9、气体控制：MKS 质量流量控制器 4路
10、真空检测：MKS 薄膜压力规
11、加热系统：石英管加热或热电阻加热 5KW-8KW-12KW
12、控制方式：全自动控制系统。
2、真空室尺寸：直径700、900、1100mm
3、平行板电尺寸：直径600、800、1000mm
4、电冷却及调节：水冷，可调节
5、真空系统：粗抽泵＋分子泵机组
6、限真空度：1*10-6mabr.
7、溅射电源：AE 射频直流电源3KW-5KW-10KW
8、工艺匹配：全自动匹配
9、气体控制：MKS 质量流量控制器 4路
10、真空检测：MKS 薄膜压力规
11、加热系统：石英管加热或热电阻加热 5KW-8KW-12KW
12、控制方式：全自动控制系统。
