产品信息
PS300系列流量控制器是一款面向气体成分制造、PVD和CVD、光学玻璃镀膜、LED生产、真空技术、光伏元件制造，以及离子注入、蚀刻和原子层沉积等半导体制造工艺的精密气体流量控制器，适用于对流量控制精度，响应速度要求较高的工艺环境。
● 量程广：10SCCM - 20SLM
● 响应快：≤ 0.8 秒
● 范围宽：1~100% F.S. （可选0.5~100%F.S.）
产品详情
型号 | PS300系列 |
气体 | 可配置，可选多气体多范围功能 |
全量程 | 10SCCM - 20SLM |
流量控制范围 | 1-100% F.S. |
流量精度(25℃时) | ± 1% S.P. (20-100% F.S.) ± 0.2% F.S. (1-20% F.S. |
重复性 | ± 0.3% S.P. (20-100% F.S.) ± 0.06% F.S. (1-20% F.S. |
耐压 | 1000 kPa(A) |
入口工作压力 | 240-450 kPa(A) |
工作压差 | ≥ 240 kPa(D) |
入口压力精度 | ± 10 kPa ( 0-1000 kPa(A) ) |
工作温度 | 15-45 ℃ |
温度敏感性(自25℃) | ± 0.05% S.P. /℃ (20-100% F.S.) ± 0.01% F.S. /℃ (1-20% F.S.) |
零漂 / 量程稳定性 | ± 1% F.S. / 年 |
阀门类型 | 压电陶瓷阀，常开 |
稳定时间 | ≤ 0.8 秒 |
阀片泄漏 | ＜ 1.0% F.S. |
泄漏率 | ≤ 5 x 10-11 Pa · m3/s (He) |
过流材质 | SUS 316L |
标准接头 | 1/4" VCR |
储存温度 | 0-80 ℃ |
安装方向 | 任意方向 |
通信协议 | Modbus/RS-485, 9 针 D-Sub |
DeviceNet, EtherCAT, 5 针 M12 | |
电源 | 9-36 VDC |
尺寸规格
