PS500 压差式质量流量计

产品价格：: 电议

产品型号：: PS500

产品品牌：: 海纳精密

供应商等级：: 免企业未认证

经营模式：: 工厂

企业名称：: 浙江海纳精密设备有限公司

所属地区：: 浙江省宁波市

发布时间：: 2026/7/28 15:23:01

18368417949

倪苏婕先生(联系我时，请说明是在维库仪器仪表网看到的，谢谢)

QQ咨询进入商铺

企业档案

浙江海纳精密设备有限公司

免企业未认证证营业执照已上传

经营模式：工厂

所在地：浙江省宁波市

主营产品：半导体器件专用设备制造，普通阀门和旋塞制造（不含特种设备制造），机械零件加工与销售，工业自动控制系统装置销售，技术服务及进出口业务

进入商铺在线咨询

产品搜索

最新产品

: PS500 压差式质量流量计; 电议

产品信息
联系方式

手机访问

扫一扫
进入手机店铺

PS500 面向先进半导体制造工艺中的精密气体流量控制需求而设计，适用于对流量稳定性、响应速度和控制精度要求较高的工艺环境。设备通过检测层流元件两端的压差信号，实现宽量程范围内的高灵敏度流量测量。入口采用低死体积压电式金属隔膜阀，可快速调节流量，并降低供气压力波动对工艺流量的影响。系统基于实际工艺气体标定数据建立气体特性数据库，并结合温度、压力及层流元件压差等参数，对质量流量进行实时计算。控制系统以 2ms 周期驱动压电阀，实现快速响应、精细调节与高分辨率控制。