产品介绍
集成式气体系统IGS是面向半导体行业的高集成度气体面板解决方案，采用面板式模块化拼装结构，将所有功能部件以 SEMI 标准表面安装方式集成于同一基板上，有效减少管路连接、节省空间、降低泄漏风险，为客户提供紧凑、可靠、易维护的气体输送与控制集成平台。
产品特点
● 超小体积：整体结构紧凑，体积约为传统分离式气体面板的 1/3，大幅优化设备内部空间布局
● 模块设计：面板式拼装结构，减少管路连接数量，提升系统集成度与安装效率
● 密封可靠：W-Seal / C-Seal 金属密封
● 洁净交付：洁净室组装 + 真空双袋包装
HN DV M系列 手动隔膜阀 产品特点： W 型密封和 C 型密封可选 内部无死角 浸润表面 EP 处理 表面光洁度 Max. 5 uin. Ra 100% 氦泄漏测试 |  |
产品规格
工作压力极值 | 150 psig |
工作温度极值 | PCTFE:-10 ℃ -80 ℃ (14 ℉ -176 ℉ ) |
表面光洁度 | Max. 5 uin. Ra |
材质 | - |
本体 | 详见订购参数 |
阀座 | PCTFE (PFA / Vespel) |
膜片 | Elgiloy |
泄露率（外部） | 1x10-9 mbar I/s He |
泄露率（内部） | 1x10-9 mbar I/s He |
选型指南
产品规格
HN DV P系列 气动隔膜阀 产品特点： W 型密封和 C 型密封可选 内部无死角 浸润表面 EP 处理 表面光洁度 Max. 5 uin. Ra 100% 氦泄漏测试 |  |
产品规格
工作压力极值 | 150 psig |
工作温度极值 | PCTFE:-10 ℃ -80 ℃ (14 ℉ -176 ℉ ) |
表面光洁度 | Max. 5 uin. Ra |
材质 | - |
本体 | 详见订购参数 |
阀座 | PCTFE (PFA / Vespel) |
膜片 | Elgiloy |
泄露率（外部） | 1x10-9 mbar I/s He |
泄露率（内部） | 1x10-9 mbar I/s He |
选型指南
HN PR系列 减压阀 产品特点： 硬密封结构 W 型密封和 C 型密封可选 表面光洁度 Max. 5 uin. Ra 100% 氦泄漏测试 |  |
产品规格
工作压力极值 | 150 psig |
工作温度极值 | -40℃ -60℃ (-40 ℉ -140 ℉ ) |
出气压力 | 0-100 psig |
表面光洁度 | Max. 5 uin. Ra |
材质 | - |
本体 | 详见订购参数 |
阀座 | PCTFE (PFA / Vespel) |
膜片 | Hastelloy C276 |
泄露率（外部） | 1x10-9 mbar I/s He |
泄露率（内部） | 1x10-9 mbar I/s He |
选型指南
HN DP系列 压力传感器 产品特点： W 型密封和 C 型密封可选 浸润表面 EP 处理 表面光洁度 Max. 5 uin. Ra 100% 氦泄漏测试 |  |
产品规格
| 工作压力极值 | 0-75/100/150 psi , 绝压 |
工作温度 | 0-80℃ |
表面光洁度 | Max. 5 uin. Ra |
材质 | - |
本体 | 详见订购参数 |
阀座 | 316L VIM/VAR |
膜片 | 316L VIM/VAR |
泄露率（外部） | 1x10-9 mbar I/s He |
泄露率（内部） | 1x10-9 mbar I/s He |
供电电压 | 15-24 V DC |
选型指南
