- 企业类型：制造商
- 新旧程度：全新
产品信息
PC100系列数字式自动压力调节器是一款面向前驱体供气系统、适用于MOCVD 、刻蚀、光学薄膜沉积、SiC GaN 外延生产、真空腔体稳压、光伏薄膜制备，离子注入、ALD 原子层沉积等多个应用领域的压力控制仪器。支持选择数字（RS-485）、DeviceNet、EtherCAT等多种通信方式。
● 精度高：± 0.1% F.S.
● 响应快：≤ 0.8 秒
● 范围宽：1~100% F.S.
产品详情
型号 | PC100系列 |
气体 | 不可配置 , 自动适应任何气体 |
全量程 | 10kPa-300kPa(A) |
压力控制模式 | -B（背压式） |
额定流量档位 | 5LM |
CV 值 | 0.032 |
控制精度 (25℃时 ) | ± 0.1% S.P. (20-100% F.S.) ± 0.2% F.S. (1-20% F.S.) |
重复性 | ± 0.1% S.P. (20-100% F.S.) ± 0.06% F.S. (1-20% F.S.) |
耐压 | 450 kPa(A) |
入口工作压力 | 0-350 kPa(A) |
工作压差 | ≥ 100 kPa(D) |
入口压力精度 | ± 0.1 kPa ( 0-350 kPa(A) ) |
工作温度 | 15-45 ℃ |
温度敏感性 ( 从 25℃ ) | ± 0.05% S.P. /℃ (20-100% F.S.) ± 0.01% F.S. /℃ (1-20% F.S.) |
零漂 / 量程稳定性 | ± 1% F.S. / 年 |
阀门类型 | 压电陶瓷阀，常开 |
稳定时间 | ≤ 0.8 秒 |
阀片泄漏 | ＜ 1.0% F.S. |
漏率 | ≤ 5 x 10-11 Pa · m3/s (He) |
过流材质 | SUS 316L |
标准接头 | 1/4" VCR |
储存温度 | 0-80 ℃ |
安装方向 | 机身标注方向 |
通信协议 | Digital/Analog, 9-pin D-Sub (male) |
DeviceNet, 5-pin M12 (male) | |
EtherCAT, 5-pin M8 (male) | |
电源 | 9-36 VDC |
压力设定信号 | 数字设定；模拟设定 0-5 VDC 可选 |
压力输出信号 | 数字输出；模拟输出 0-5 VDC 可选 |
尺寸规格
