PEV-1压电阀（PEV-1 PIEZOELERIC GAS LEAK VALVE）是为了适用真空系统的高气体流量控制阀门，主要应用领域包括：磁控溅射镀膜，光学镀膜，ITO镀膜，等离子体刻蚀等。可与国产自动压强控制仪配套使用，来实现闭环控制，稳定压强的目的，。
技术参数：
阀门类型：压电晶体
可控制的气体：兼容各种材料
流量范围：0？500 SCCM
漏率：<1x10？9 scc/sec（1ATM HE ON INLET）
响应时间：2微秒
进气压力：50 PSI
驱动要求：电压：0？100 VDC，电流：<10μA
操作温度范围：＋10°C to＋60°C
材料：316不绣刚，氟橡胶，特富龙，陶瓷片
进气和出气连接：1/4"Swagelok Fittings
电气连接：标准BNC
重量：800克
技术参数：
阀门类型：压电晶体
可控制的气体：兼容各种材料
流量范围：0？500 SCCM
漏率：<1x10？9 scc/sec（1ATM HE ON INLET）
响应时间：2微秒
进气压力：50 PSI
驱动要求：电压：0？100 VDC，电流：<10μA
操作温度范围：＋10°C to＋60°C
材料：316不绣刚，氟橡胶，特富龙，陶瓷片
进气和出气连接：1/4"Swagelok Fittings
电气连接：标准BNC
重量：800克
