Varian公司利用干式涡旋真空获得技术为用户提供了高抽速，低限压强的涡旋式干泵产品，这种干式涡旋泵具有全无油、高耐用性、高性，噪音小等特点。
特点：
※抽气效率高，限压强低且无油
※的Triscroll技术使Triscroll我寻干泵具有性和耐久性
※轴护充气口，大大了抽除可凝性气体的能力，性，延长维修周期
※自动气振阀，了对水蒸气及其他可凝性气体的抽气效果，使的性能保持一致
特点：
※抽气效率高，限压强低且无油
※的Triscroll技术使Triscroll我寻干泵具有性和耐久性
※轴护充气口，大大了抽除可凝性气体的能力，性，延长维修周期
※自动气振阀，了对水蒸气及其他可凝性气体的抽气效果，使的性能保持一致
其他说明
| 型号 | SH110 | TS300 | TS600 | TS600Inverter | TS300Inverter |
| 抽速50Hz, l/min,m3/h(cfm) | 90,5.4/3.3 | 210,12.6/7.4 | 420,25.2/14.8 | 250,15/8.8 | 500,30/17.7 |
| 限压强Torr/mbar | 6 x 10 -2 5 x 10 -2 | 1.3 x 10 -2 1 x 10 -2 | 9.3 x 10 -3 7 x 10 -3 | 1.3 x 10 -2 1 x 10 -2 | 9.3 x 10 -3 7 x 10 -3 |
| 抽气口压强atm | 1.0 | 1.0 | 1.0 | 1.0 | 1.0 |
| 排气口压强atm | 1.5/7.5 | 1.1/1.5 | 1.1/1.5 | 1.1/1.5 | 1.1/1.5 |
| 抽气口接口 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 |
