多角度激光椭偏仪（pH-LE型）专门针对晶硅太阳能电池绒面上的减反膜测量，能够测量薄膜厚度及其光学常数，使用632.8nm波长氦氖激光器，具有高的度和准确度。
多角度激光椭偏仪-产品特点
■可以测量单晶电池片、多晶电池片
■可以测量抛光片，度和准确度高
■可以测量粗糙表面的“绒片”
■适用于对太阳能电池粗糙表面减反膜造成的低反射光强进行测量
■可对太阳能电池粗糙表面减反膜造成的退偏因数（偏振因数）进行测量和评估，测量
■配置有高稳定度补偿器，提供小的漂移值和小的测量误差
■配置有高的自动光学对准显微镜
■可进行20°−90°范围内的多角度测量
多角度激光椭偏仪-测量特点
■非破环性检测
■样品准直简单方便
■测量速度快
■可变入射角范围宽
■测量
■软件分析
多角度激光椭偏仪-技术指标
■光源：He-Ne激光器
■光斑直径：1-2mm
■入射角范围：20°到90°，5°/步
■：0.002°~0.02°
■膜厚：0.01mm，对100nmSiO2on Si
■折射率：0.0005，对100nmSiO2on Si
■激光光斑：直径1mm
■激光波长632.8 nm
多角度激光椭偏仪-产品特点
■可以测量单晶电池片、多晶电池片
■可以测量抛光片，度和准确度高
■可以测量粗糙表面的“绒片”
■适用于对太阳能电池粗糙表面减反膜造成的低反射光强进行测量
■可对太阳能电池粗糙表面减反膜造成的退偏因数（偏振因数）进行测量和评估，测量
■配置有高稳定度补偿器，提供小的漂移值和小的测量误差
■配置有高的自动光学对准显微镜
■可进行20°−90°范围内的多角度测量
多角度激光椭偏仪-测量特点
■非破环性检测
■样品准直简单方便
■测量速度快
■可变入射角范围宽
■测量
■软件分析
多角度激光椭偏仪-技术指标
■光源：He-Ne激光器
■光斑直径：1-2mm
■入射角范围：20°到90°，5°/步
■：0.002°~0.02°
■膜厚：0.01mm，对100nmSiO2on Si
■折射率：0.0005，对100nmSiO2on Si
■激光光斑：直径1mm
■激光波长632.8 nm
