产品
NCS-R80无接触厚度电阻率测试仪是一款用于硅片的厚度、电阻率测量的仪器，该仪器适用于Si，GaAs，InP，Ge等几乎的材料，的设计都合ASTM（美国材料实验协会）和Semi标准，与其他工艺仪器的兼容与统一。
特征
■无接触伤测量
■电阻率和厚度同时测量
■适用的晶圆材料包括Si，GaAs，InP，Ge等几乎的材料
■电脑触摸屏显示
■干扰强，稳定性好
■强大的工控机控制和大屏幕显示
■一体化设计操作更方便，系统稳定
■为晶圆硅片关键生产工艺提供的无接触测量
技术指标
■测试尺寸：50mm-300mm.
■厚度测试范围：1000 um，可扩展到1700 um
■厚度测试：＋/-0.25um
■厚度重复性：0.050um
■TTV 测试：＋/-0.05um
■TTV重复性：0.050um
■电阻率测试范围：0.1ohm.cm——50 ohm.cm
■电阻率测试：＋/-2%
■电阻率测量重复：＋/-1%
■晶圆硅片导电型号：P 或 N型
■材料：Si，GaAs，InP，Ge等几乎半导体材料
■可用在：切片后、磨片前、后，蚀刻，抛光以及出厂、入厂质量检测等
■平面/缺口：的半导体标准平面或缺口
■硅片安装：裸片，蓝宝石/石英基底，黏胶带
■连续5点测量
NCS-R80无接触厚度电阻率测试仪是一款用于硅片的厚度、电阻率测量的仪器，该仪器适用于Si，GaAs，InP，Ge等几乎的材料，的设计都合ASTM（美国材料实验协会）和Semi标准，与其他工艺仪器的兼容与统一。
特征
■无接触伤测量
■电阻率和厚度同时测量
■适用的晶圆材料包括Si，GaAs，InP，Ge等几乎的材料
■电脑触摸屏显示
■干扰强，稳定性好
■强大的工控机控制和大屏幕显示
■一体化设计操作更方便，系统稳定
■为晶圆硅片关键生产工艺提供的无接触测量
技术指标
■测试尺寸：50mm-300mm.
■厚度测试范围：1000 um，可扩展到1700 um
■厚度测试：＋/-0.25um
■厚度重复性：0.050um
■TTV 测试：＋/-0.05um
■TTV重复性：0.050um
■电阻率测试范围：0.1ohm.cm——50 ohm.cm
■电阻率测试：＋/-2%
■电阻率测量重复：＋/-1%
■晶圆硅片导电型号：P 或 N型
■材料：Si，GaAs，InP，Ge等几乎半导体材料
■可用在：切片后、磨片前、后，蚀刻，抛光以及出厂、入厂质量检测等
■平面/缺口：的半导体标准平面或缺口
■硅片安装：裸片，蓝宝石/石英基底，黏胶带
■连续5点测量
