优点
◆全刻度范围从100毫乇…1000乇
◆电源接通后的快速稳定性
◆暴露大气压后的性
◆腐蚀性陶瓷传感监测器
◆卓越的长期讯号稳定性
◆温度补偿
◆保护传感器污染
◆一键调功能
◆宽范围电源
◆2个设点(选项)
◆RS232接口(选项)
用途
要求高的应用条件下,而快速的压强测量:
◆用于刻蚀,CVD,PVD,ALD半导体制造设备
◆资料贮存和显示器制造设备
◆工业真空设备
◆常用高真空测量
其他说明
Torr | Pascal | Mbar | 1/2"tube | DN 16 ISO-KF | DN 16 CF-R | 8 VCR |
1000 | 133322 | 1333 | 375-000 | 375-001 | 375-002 | 375-003 |
100 | 13332 | 133 | 376-000 | 376-001 | 376-002 | 376-003 |
10 | 1333 | 13.3 | 377-000 | 377-001 | 377-002 | 377-003 |
1 | 13.3 | 0.13 | 378-000 | 378-001 | 378-002 | 378-003 |
0.1 | 13.3 | 0.13 | 379-000 | 379-001 | 379-002 | 379-003 |
CDG025D, 温度补偿型,带2个设点和RS232接口
全刻度范围 法兰型式
Torr | Pascal | Mbar | 1/2"tube | DN 16 ISO-KF | DN 16 CF-R | 8 VCR |
1000 | 133322 | 1333 | 375-300 | 375-301 | 375-302 | 375-303 |
- | 110000 | 1100 | 375-500 | 375-501 | 375-502 | 375-503 |
200 | 26664 | 267 | 382-300 | 382-301 | - | - |
100 | 13332 | 133 | 376-300 | 376-301 | 376-302 | 376-303 |
- | 10000 | 100 | 376-500 | 376-501 | 376-502 | 376-503 |
20 | 2666 | 26.7 | - | - | - | - |
10 | 1333 | 13.3 | 377-300 | 377-301 | 377-302 | 377-303 |
- | 1000 | 10 | 377-500 | 377-501 | 377-502 | 377-503 |
1 | 133 | 1.3 | 378-300 | 378-301 | 378-302 | 378-303 |
- | 100 | 1 | 378-500 | 378-501 | 378-502 | 378-503 |
0.25 | 33.3 | 0.33 | 385-300 | 385-301 | 385-302 | 385-303 |
0.1 | 13.3 | 0.13 | 379-300 | 379-301 | 379-302 | 379-303 |
- | 10 | 0.1 | 319-500 | 379-501 | 379-502 | 379-503 |