FC-R7800系列采用金属材质密封具备优异的低泄漏特性，可适用于大多数气体控制应用。提供行业通用和AE电气信号可选方案，可方便对用户使用的质量流量控制器（MFC）进行替换，操作简单。
特点
◆高
◆高信赖和性
◆耐腐蚀设计
◆采用金属密封材质
◆VCR、Swagelok互换的气路接口
◆10SCCM－200SLM满量程范围
◆方便的互换性
◆应答的统一性，目前世界上有大约7万只在运行中的产品，内的返修率不到0.5%，广受客户赞誉◆方
◆方便的互换性
特点
◆高
◆高信赖和性
◆耐腐蚀设计
◆采用金属密封材质
◆VCR、Swagelok互换的气路接口
◆10SCCM－200SLM满量程范围
◆方便的互换性
◆应答的统一性，目前世界上有大约7万只在运行中的产品，内的返修率不到0.5%，广受客户赞誉◆方
◆方便的互换性
其他说明
| 性能指标 |
FC-R7800CD/FC-R7800D系列 |
FC-R7810CD/FC-R7810D系列 |
FC-R7820CD/FC-R7820D系列 |
|
满量程范围 |
10Sccm-5Slm |
N/O:6-20slm* N/C:6-50slm** |
35-200Slm |
| 响应时间 | 满流量的&plun;2%范围内,小于2秒 | 满流量的&plun;2%范围内,小于3秒 | |
| ≤&plun;1%满量程 | ≤&plun;2%满量程 | ||
| 线性镀 | ≤满量程&plun;0 5% | ≤满量程&plun;0 5% #1 | ≤满量程&plun;1% |
| 重复性 | ≤满量程&plun;0.2% | ||
| 泄漏率 | 1X10E-11 Pa.m ³/sec | ||
| 控制范围 | 满流量的2%-5% #2 | ||
| 压差 |
49Kpa-275Kpa |
69Kpa-275Kpa 98Kpa-275Kpa |
147Kpa-275Kpa |
|
正常工作压 力 |
490Kpa |
||
| 进气压力 |
980Kpa |
||
|
温度范围 |
5-45℃(41-113℉) |
||
|
输入电源 |
+15VDC&plun;2% 25mA -15VDC&plun;2% 180mA |
+15VDC&plun;2% 25mA -15VDC&plun;2% 200mA |
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| 功率 | 3.1W max | 3.5W max | |
| 输入信号 | 0-5 VDC | ||
| 输出型号 | 0-5 VDC | ||
| 控制阀形式 | 常开或常闭电磁阀 | ||
| 密封件 | 金属密封 | ||
| 材质 | 316L,316,PTFE,不锈钢(氟橡胶,氯丁橡胶) | ||
| 标准接口 | 1/4"VCR和Swagelok兼容 | 3/8"VCR,1/4"VCR | |
| 重量 | 1.0KG | 2.7KG | |
