INFICON的MPG400、MPG401冷阴和皮拉尼复合真空规，测量范围从 5x10-9毫巴至大气压（3.8 x10-9乇至大气压）。将两种测量方式组合在一个具有对数模拟输出的小型单元内，大大地降低了安装，设置和集成的复杂性。
MPG400冷阴和皮拉尼的复合真空规的详细介绍
优点：
■复合真空规—冷阴与皮拉尼
■宽的压强测量范围从5X10-9毫巴至大气压
■无可烧毁的灯丝
■卓越的引燃功能
■
■FPM或金属密封的馈入件
■高压加上时LED指示灯亮
■对数模拟输出讯号
应用：
■高真空压强监测
■蒸发和溅射系统的压强测量
■一般真空测量和控制，从中至高真空范围
MPG400冷阴和皮拉尼的复合真空规的详细介绍
优点：
■复合真空规—冷阴与皮拉尼
■宽的压强测量范围从5X10-9毫巴至大气压
■无可烧毁的灯丝
■卓越的引燃功能
■
■FPM或金属密封的馈入件
■高压加上时LED指示灯亮
■对数模拟输出讯号
应用：
■高真空压强监测
■蒸发和溅射系统的压强测量
■一般真空测量和控制，从中至高真空范围
其他说明
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测量范围 (空气, N2) |
毫巴(乇) |
5 x 10-9… 1000 (3.8 x 10-9… 760) |
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(N2) 1 x 10-8 … 100毫巴 |
% 读值 |
≈&plun;30% |
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重复性1 x 10-8 … 100毫巴 |
% 读值 |
≈&plun;5% |
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安装方向 |
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任何 |
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允许压强 |
巴() |
≤10 (限于惰性气体) |
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允许温度 工作 (室温) 贮存 烘烤 1) 灯丝温度 (皮拉尼) |
°C °C °C °C |
+5 … +55 –40 … +65 150 120 |
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电源电压 |
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在规管上 |
V DC |
+15 … +30 |
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在供电单元上, 电缆长度 2) |
V DC |
+16 … +30 |
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纹波 |
Vpp |
≤1 |
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功耗 |
W |
≤2 |
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连接保险丝 |
AT |
≤1 |
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输出讯号(测量讯号) |
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电压范围 |
V |
0 … +10.5 |
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测量范围 |
V |
+1.82 … +8.6 |
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电压与压强的关系 |
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对数, 0.6 V/量级 |
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误差讯号 |
V |
<0.5 (无电源) |
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V |
>9.5 (皮拉尼传感器, 灯丝断裂) |
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输出阻 |
? |
2 x 10 |
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小负载阻 |
k? |
10, 短路保护 |
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响应时间 p > 10-6 毫巴 |
毫秒 |
<10 |
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|
p = 10-8 毫巴 |
毫秒 |
≈1000 |
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规管标识 |
k? |
85, 参考电源公共点 |
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状态 |
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皮拉尼模式 |
V |
0 (低) |
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复合皮拉尼 / 冷阴模式 |
V |
15 … 30 (高) |
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指示灯 |
LED 绿色 |
高压on |
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电气连接 |
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FCC 68 设备连接件, 8脚,凹型 |
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传感器电缆 |
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8芯,加屏蔽 |
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电缆长度 |
米 |
≤50 (8 x 0.14 毫米 2) |
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工作电压 |
千伏 |
≤3.3 |
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工作电流 |
微安 |
≤500 |
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暴露于真空的材料 |
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不锈钢, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W |
不锈钢, Al2O3, Ag, Cu, Sn Mo, Ni, Au, W |
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内容积 |
厘米3 |
≈20 |
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重量 |
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DN 25 ISO-KF |
克 |
≈700 ≈730 |
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DN 40 ISO-KF |
克 |
≈720 ≈750 |
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|
DN 40 CF-F |
克 |
≈980 ≈1010 |
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保护级别 |
|
IP 40 |
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标准 |
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EN 6 1000-6-2 , EN 6 1000-6-3 , EN 61010-1 |
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