PEG100潘宁规技术优点:
测量范围广:5 X 10-7~1 Pa
全金属冷阴陶瓷传感器
新型几何电提供了好的点火性能
降低等离子点火高电压和钛阴板污染的危险,即使在氩溅射过程中也一样
阳环和钛阴可清洗,更换容易
小磁场强度测量
LED指示灯电源和等离子点火
对数模拟输出信号
Fieldbus总线接口(Profibus DB,DeviceNet),集成到真空系统的网络通信
PEG100潘宁规技术参数:
测量范围 1·10-9至1·10-2毫巴/乇
在范围从1·10-8至1·10-4毫巴
的测量不定性:
偏离特性±30%显示值
输出跨度的平均温度系数<0.5%/K 显示值
再现性<4%显示值
测量原理冷阴潘宁电离
电源电压 14.5至36 V DC,典型24 V DC 纹波≤2 Vpp
功耗<2瓦保护 IP 40
电磁兼容性(EMI)CE 标志干扰合EN 50082-2,表1,2,3
干扰合EN 50081-1和FCC规程5部分,B级
易燃性 UL 94-V2
状态显示
运行(POWER)桔色LED 准备测量(点燃)READY 绿色LED
测量讯号 0.66 V至10 V;
对数,1.333 V每量级
状态讯号(未点燃)0.4 V