应答、重复性好等特点,具有很高的性价比。产品广泛使用在半导体液晶产业用真空装置数据
存储装置工业镀膜实验室仪气环境监测等行业,在CVD、PVD、离子扩散、溅射、燃烧、光纤镀膜、表面处理和其他镀膜工艺中有大量使用先例并。
特点
◆
针对非腐蚀性气体和泄漏率要求不高的场合、了产品同时,具有很好性价比。
◆替换方便
采用业界通用的通信方式,很容易对其他厂家的产品进行替换,从而实现性能和稳定性的目的。
◆高信赖和性
的统性前世上有大约在行中的产品其年目界4万只运中的产品,其一年内的返修率不到0.5%,广受客户赞誉
技术参数
其他说明
性能指标 |
FC-R7700CD/FC-R7700D系列 |
FC-R7710CD/FC-R7710D系列 |
FC-R7720CD/FC-R7720D系列 |
满量程范围 |
10Sccm-5Slm |
N/O:6-20slm* N/C:6-50slm** |
35-200Slm |
响应时间 | 满流量的&plun;2%范围内,小于2秒 | 满流量的&plun;2%范围内,小于3秒 | |
≤&plun;1%满量程 | ≤&plun;2%满量程 | ||
线性镀 | ≤满量程&plun;0 5% | ≤满量程&plun;0 5% #1 | ≤满量程&plun;1% |
重复性 | ≤满量程&plun;0.2% | ||
泄漏率 | 1X10E-7 Pa.m ³/sec | ||
控制范围 | 满流量的2%-5% #2 | ||
压差 |
49Kpa-275Kpa |
69Kpa-275Kpa 98Kpa-275Kpa |
147Kpa-275Kpa |
正常工作压 力 |
490Kpa |
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进气压力 |
980Kpa |
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温度范围 |
5-45℃(41-113℉) |
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输入电源 |
+15VDC&plun;2% 25mA -15VDC&plun;2% 180mA |
+15VDC&plun;2% 25mA -15VDC&plun;2% 200mA |
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功率 | 3.1W max | 3.5W max | |
输入信号 | 0-5 VDC | ||
输出型号 | 0-5 VDC | ||
控制阀形式 | 常开或常闭电磁阀 | ||
密封件 | 氟橡胶 | ||
材质 | 316L,316,PTFE,不锈钢(氟橡胶,氯丁橡胶) | ||
标准接口 | 1/4"VCR和Swagelok兼容 | 3/8"VCR,1/4"VCR | |
重量 | 1.0KG | 2.7KG |