VS系列全自动氦质谱检漏仪是一款精良的宽量程氦质谱检漏仪，它含有涡轮分子高真空泵、内置机械泵、外置机械泵、光谱仪管、阀组、检漏仪电子元件和操作员界面，以及可选功能组件。VS MR15x 和 VS MD30x型号检漏仪可选用双轮车。检漏仪型号都适用于 100/115 VAC 和 230 VAC
应用领域：
VS系列全自动氦质谱检漏仪应用于工业真空炉、镀膜系统、电子束焊接设备；电厂冷凝器、热交换器、蒸汽管线、地下冲压电缆；物理同步加速器、束线、同步辐射光源；电子扫描显微镜、半导体加工、薄膜制备、质谱分析、真空电子管、激光加工等领域。
特点：
※多种语言和计量单位选择，可选中文界面
※135o电离偏转（自然聚焦点）的质谱技术，金属密封结构
※新的电子线路及信号处理设计
※小可检漏率高、灵敏度覆盖范围可达12个量程
※快速清氦和快速响应
※测试口耐压高，可实现大漏检漏
应用领域：
VS系列全自动氦质谱检漏仪应用于工业真空炉、镀膜系统、电子束焊接设备；电厂冷凝器、热交换器、蒸汽管线、地下冲压电缆；物理同步加速器、束线、同步辐射光源；电子扫描显微镜、半导体加工、薄膜制备、质谱分析、真空电子管、激光加工等领域。
特点：
※多种语言和计量单位选择，可选中文界面
※135o电离偏转（自然聚焦点）的质谱技术，金属密封结构
※新的电子线路及信号处理设计
※小可检漏率高、灵敏度覆盖范围可达12个量程
※快速清氦和快速响应
※测试口耐压高，可实现大漏检漏
其他说明
| 性能指标 | PR02/PD03 | MR15和MD30 |
| 性能 | 前级泵内置式 | 前级泵外置式及小车 |
| 前级泵油式机械泵 | DS-42,2 m3/hr (34 l/m) | DS-302,14 m3/hr (232 l/m) |
| 涡卷式干泵 | 干泵-2 m3/hr (34 l/m) | TS-620 30 m3/hr (500 l/m) |
| 小可检漏率在1000ppm的氦气背景下 | 5*10 -12 atm cc/sec;5*10 -12 mbar l/s;5*10 -13 Pa m3/sec ,氦气 | |
| 测试口耐压 | 13 mbar,10 Torr,1330 Pa | |
| 测试口处对氦气抽速 | 1.8 l/s | |
| 校准 | 自动或手动(内置或外置) | |
| 氦本底清 | 按键清,并具有点追踪功能 | |
| 操作界面 | 高清晰彩显,TFT触摸屏 | |
| 语言选择 | 中文/英语/法语/德语/日语/韩语/西班牙语 | |
| 循环检测 | 可编程粗抽时间/测试时间,设置报废点 | |
| 响应时间 | <0.5秒 | |
| 设定点 | 标准;5个设定点;常开或常闭;3个漏率点;1个压强点;1个声讯点 | |
| 通讯协议 | RS-232 通讯接口,9600波特率(9芯串口) | |
| 执行标准 | UL,CE,CSA | |
| 无限远程控制(选件) | 2.4GHz ISM, 100m(328ft), 4AA电池/5VDC电源 | |
