产品应用：太阳能电池片生产线上125mm×125mm、156mm×156mm方片扩散、氧化、退火等工艺使用。
产品特点：
◆工业计算机控制系统，对炉温、进退舟、气体流量、闸门等动作进行自动控制；
◆闭管式扩散系统，降低生产成本，更洁净，更；
◆石英舟采用软着陆送片，高性；
◆工艺有毒害尾气定向收集、集中处理排放，更加安；
◆具有多种工艺管路，可供用户随意灵活配置；
◆具有断电报警、温报警、限温报警等多种保护功能；
◆控温好，温区控温稳定性好；
◆关键件采用件，系统性高，干扰。
主要技术指标：
1.适用硅片尺寸：125mm×125mm、156×156mm；
2.装片量：300-400片／管；
3.工艺管数量：1～4管（可选择）；
4.工作温度范围：400～1300℃；
5.恒温度：1100mm（可根据客户要求定做）；
6.恒温区：&plun;1℃（600～1100℃）；
7.单点温度稳定性：≤&plun;1℃／24h（600～1100℃）；
8.可控升温速度：（300～1300℃）15℃／min；
9.可控降温速度：（1300～900℃）5℃／min；
10、净化台洁净度：100级。
产品特点：
◆工业计算机控制系统，对炉温、进退舟、气体流量、闸门等动作进行自动控制；
◆闭管式扩散系统，降低生产成本，更洁净，更；
◆石英舟采用软着陆送片，高性；
◆工艺有毒害尾气定向收集、集中处理排放，更加安；
◆具有多种工艺管路，可供用户随意灵活配置；
◆具有断电报警、温报警、限温报警等多种保护功能；
◆控温好，温区控温稳定性好；
◆关键件采用件，系统性高，干扰。
主要技术指标：
1.适用硅片尺寸：125mm×125mm、156×156mm；
2.装片量：300-400片／管；
3.工艺管数量：1～4管（可选择）；
4.工作温度范围：400～1300℃；
5.恒温度：1100mm（可根据客户要求定做）；
6.恒温区：&plun;1℃（600～1100℃）；
7.单点温度稳定性：≤&plun;1℃／24h（600～1100℃）；
8.可控升温速度：（300～1300℃）15℃／min；
9.可控降温速度：（1300～900℃）5℃／min；
10、净化台洁净度：100级。
