技术特点:
优质加热丝:KANTHAL‘APM A-1 AF D及HRE…
热材料:PMF T2 T3…晶体纤维等
缘子:高纯刚玉
端口过渡环:氧化铝氧化锆等真空成型。
用途:半导体扩散炉烧结炉等
◆满足4"-8"立式、卧式晶圆扩散炉"
◆完整的产品系列,满足该产品的
◆替代的材料及制造技术
◆质量技术指标优异
◆使用温度:室温-1300℃&plun;0.5℃
◆高温型、普通型、快速升降温型。
炉体型号:JH300I-XX JH300II-XX JV500I-XX JV500H-XX
炉体口径:Φ100~Φ300Φ100~Φ300Φ200~Φ500Φ200~Φ500
工作温度:200℃~1200℃400℃~1300℃200℃~1200℃400℃~1300℃
加热丝:Fe-Cr-Al-Y,高温Fe-Cr-Al-Y Fe-Cr-Al-Y,高温Fe-Cr-Al-Y
按客户的炉型要求,可内衬高纯刚玉管或SiC管。
供货类型:
炉体按结构形式分为:卧式炉体、立式炉体;
按工艺温度分为:高温炉体、低温炉体以及快速升降温炉体。
提供完整的相关配件:
■热偶系列
■真空成型过渡环、端口
■按客户要求的各种特异炉体
欢迎索取相应详尽的技术资料及共研相应项目的解决方案。