产品特点:
◆送片方式:悬臂/软着陆(推荐)
◆射频电源、压力控制系统、干泵等。
◆数控钣金机床加工,整机结构合理,同类设备。
◆满足用户的技术指标要求,突出产品的稳定性,一致性。
◆工控机自动控制系统,工艺过程参数显示、修改、记录等,操作更加直观便捷;
◆设备操作方便,模块化设计,使用及维护方便;
◆方便的温区调整方式(或自动温区调整)更加快捷;
◆高质量的加热炉体,恒温区的高稳定性及长寿命。
主要技术指标:
◆工艺片数:125mm×125mm/256片/批,156mm×156mm/216片/批
◆炉体口径:适应石英管外径φ400mm
◆工作温度范围:150〜500℃
◆恒温度及:1100mm/&plun;1.5℃
◆悬臂式送料装置:50mm/min〜900mm/min连续可调
◆压力控制范围:100〜300Pa(闭环连续可调)
◆限真空度:1Pa
◆反射膜均匀性:片内≤&plun;4%,片间≤&plun;4%,批间≤&plun;5%
◆沉积均匀性:≤&plun;5%
◆内置的Profile TC 实时显示工艺过程恒温区内前、中、后三点的实际温度。