半自动探针台与测试仪配接后，能自动完成对芯片的电参数测试。
技术性能：
1. 采用计算机，Windows操作系统，动态显示测试过程；
2. TTL接口，IEEE488接口；
3. MAP图显示、支持大量数据存储；
4. 具有同步打点、打点、离线打点功能；
5. 具有编辑、矩阵、环形、圆形等多种自动测试方式；
6. 适合对光敏感器件的遮光测试。
技术指标：
性能名称 | 技术指标 | |
可测片径 | 4″、5″、6″ | |
工作台 | 行程 | |
定位 | ≤±0.015mm | |
步进分辨率 | ||
承片台 | Z向行程 | 8mm |
Z向定位 | ≤±0.005mm | |
Z向分辨率 | ||
θ向调节范围 | ±10 o | |
θ向分辨率 | 0.001 o | |
观察装置 | 双目体视显微镜，放大倍数7.5X～45X | |
遮光罩装置（适合对光敏感器件的遮光测试） | （选配） | |
上、下圆片方式 | 手动方式 | |
外形尺寸（宽×深×高） | 750mm×700mm×1500mm | |
环境要求：
1. 电源：AC 220V±22V 50Hz±1Hz，功率：＜0.8KW，真空：< -80 KPa
2. 使用环境：温度：10oC-30oC 湿度：＜60%
设备外形：
