- 品牌/商标：羲和
XH-MP150A设备是增强型手动分析探针台，用于为各种半导体芯片、微波器件等提供一个光、电参数测试、分析的平台，可吸附多种规格的圆片及芯片，并提供可调测试针及探卡测试针座。适用于大学、实验室、大生产线对芯片进行科研分析、抽查测试等用途。设备可代替美国CASCADE公司的EPS150系列的手动探针台。
技术参数：
项 目 | 性能指标 | ||
可测圆片尺寸 | 2″、3″、4″、6″ | ||
工作台 | 行程 | ||
结构 | 精密高刚性直线导轨，滚珠丝杠 | ||
分辨率 | 0.001mm-0.01mm（根据需求丝杆导程可选） | ||
操作方式 | 手轮 | ||
承片台Z向 | 接触/分离 | 行程 | |
承片台θ向 | 微调范围 | ±15 o | |
针座平台 （可选） | 升、降行程 | 25mm | |
接触/分离 | 0.66mm | ||
吸片盘 | 吸片方式 | 真空吸附 | |
分档 | （2″、3″）、4″、6″单独真空吸附，三档可选 | ||
上、下片方式（可选） | 快速抽屉式上、下片 | ||
显微镜及配件 | 立柱式支架 | 前、后，上、下、旋转，仰角四维可调 | |
微调支架 （可选） | X方向120mm，Y方向60mm，手轮调节 | ||
显微镜 | 双目体视显微镜45X | ||
照明灯 | LED环形灯 | ||
相关配件 | 打点器 | 可调三维座，驱动DC24V | |
测试探针 | 高弹性钨针 | ||
三维针座 | 磁性吸附式，可调范围：x: ± z: ± | ||
外形尺寸 | |||
设备重量 | 约30 KG | ||
使用环境 | 电源 | AC 220V±22V 50Hz±1Hz | |
功率 | 0.05kW | ||
真空 | -80 KPa | ||
环境温度 | 15oC-30oC | ||
相对湿度 | ＜60% | ||
