| 母合金 |
| 半导体拉晶的重要掺杂元素 |
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产品特点 | ||||||||||||||||||
| 进口12N电子极原生多晶硅，配掺高纯度硼粉（7N）级。目前广泛应用在拉单晶上的为硅硼负三合金。 | |||||||||||||||||||
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母合金掺杂计算方法 | ||||||||||||||||||
| 电阻率P的单晶，它的头部对应的的杂质浓度为C头，多晶硅原料的重量为W，母合金的杂质浓度为C母，应掺母合金重量为M 应掺母合金重量为M =W*C头/（K*C母—C头），其中K为掺杂剂原素在硅中的平衡分凝系数。 | |||||||||||||||||||
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参数 | ||||||||||||||||||
| ■ 硅单晶P型10的-3次方母合金 ■ 电阻率:0.007-0.009Ω/cm2 ■ 杂质含量指标
■ 硅单晶P型10的-3次方母合金 ■ 电阻率:0.003-0.004Ω/cm2 ■ 杂质含量指标
■ 硅单晶N型10的-3次方母合金 ■ 电阻率:0.002-0.005Ω/cm2 ■ 杂质含量指标
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