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硅片表面线痕测试仪
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硅片表面线痕测试仪

产品价格:
电议
产品型号:
进口
供应商等级:
企业未认证
经营模式:
工厂
企业名称:
北京羲和阳光科技发展有限公司
所属地区:
北京市
发布时间:
2011/8/23 13:23:40

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包经理女士(联系我时,请说明是在维库仪器仪表网看到的,谢谢)

企业档案

北京羲和阳光科技发展有限公司

企业未认证营业执照未上传

经营模式:工厂

所在地:北京市

主营产品:少子寿命测试仪,硅锭探伤仪,硅料分选仪,硅片自动41点精密测,手动硅片测厚仪,碳氧含量测试仪,硅片表面线痕测试仪,硅料检测分选仪,太阳能级硅少子寿命测,硅棒、硅锭探伤仪,光伏检测显微镜,薄膜方块电阻测试仪,手持式电阻率测试仪,便携式硅料分选仪,钨钢探针,全自动硅片测厚

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显示一目了然,操作简单: 配备高可见度7.5 英寸TFT LCD 屏幕。彩色图标显示、触控式面板,显示更清晰,操作简单。
轻松定位: 使用专用控制器内置的操纵杆,轻松、快速地定位。小孔内侧的测量,需要对微小测头进行微调。利用手动手柄,实现轻松微调。
轻松设置表测量条件: 利用配备的简单输入功能,可按照ISO/JIS 标准的绘图指令符号进行输入。以往非常麻烦的测量条件设置如今可轻松输入,从菜单上直接选取表面线痕的绘图指令符号即可。

技术参数

技术参数: SJ-500
X 轴 (驱动部)
  测量范围: 50mm
  分辨率: 0.05μm
  检测方法: 线性编码器
  驱动速度: 0 - 20mm/s
  测量速度: 0.02 - 5mm/s
  移动方向: 向后
  直线度: 0.2μm / 50mm
  定位: ±1.5° (倾角、有DAT 功能) 30mm (向上/向下)
检测器
  范围/分辨率: 800μm / 0.01μm, 80μm / 0.001μm, 8μm / 0.0001μm
  检测方法: 无轨/有轨测量
  测力: 4mN 或 0.75mN (低测力型)
  测针针尖: 金刚石、90o / 5μmR (60o / 2μmR: 低测力型)
  导头曲率半径: 40mm
  检测方法: 差动电感式
控制器
  显示: 7.5" 带背光的TFT 彩显
  打印机: 内置热敏打印机
  放大倍率: 水平: X10 至 X500,000、自动 垂直: X0.5 至 X10,000、自动 驱动装置的控制: 通过操纵杆手动手柄的操作

技术参数: SV-2100
X 轴 (驱动部)
  测量范围: 100mm
  分辨率: 0.05μm
  检测方法: 线性编码器
  驱动速度: 0 - 40mm/s
  测量速度: 0.02 - 5mm/s
  移动方向: 向后
  直线度: 0.15μm / 100mm Z2 轴 ( 立柱)
  类型: 手动操作或电驱动
  垂直移动: 350mm 或 550mm*
  分辨率*: 1μm
  检测方法*: 旋转编码器
  驱动速度*: 0 - 20mm/s * 仅适于电驱动型
检测器
  范围/分辨率: 800μm / 0.01μm, 80μm / 0.001μm, 8μm / 0.0001μm
  检测方法: 无轨/有轨测量
  测力: 4mN 或 0.75mN (低测力型)
  测针针尖: 金刚石、90o / 5μmR (60o / 2μmR: 低测力型)
  导头曲率半径: 40mm
  检测方法: 差动电感式
控制器
  显示: 7.5" 带背光的TFT 彩显
  打印机: 内置热敏打印机
  放大倍率: 水平: X10 至 X500,000、自动 垂直: X0.5 至 X10,000、自动
  驱动装置的控制: 通过操纵杆手动手柄的操作

评估能力
评估轮廓
  P (主轮廓), R (表面轮廓), WC, WCA, WE, WEA, 包络 残余线、波形 motif
评估参数
  Ra, Rc, Ry, Rz, Rq, Rt, Rmax, Rp, Rv, R3z, Sm, S, Pc, mr(c), dc, mr,
  tp, Htp, Lo, Ir, Ppi, HSC, Da, Dq, Ku, Sk, Rpk, Rvk, Rk, Mr1, Mr2,
  A1, A2, Vo, la, lq 线痕motif 参数: R, AR, Rx 波形motif 参数: W, AW, Wx, Wte
分析图表
  ADC, BAC, 功率谱图
数显滤波器
  2CR-75%, PC-75%、高斯滤波器、鲁棒样条
截止波长
  ls: 0.25μm, 0.8μm, 2.5μm, 8μm, 25μm, 250μm、无滤波器
  lc*: 0.025mm, 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm
  lf: 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm、无滤波器采样长度 (L)*
  0.025mm, 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm, 80mm (仅适于SV-2100)
数据补偿功能
  抛物线补偿、双曲线补偿、椭圆补偿、R 平面 (曲面)
  补偿、锥面补偿、倾斜补偿
  *在 0.02mm 至50mm 的范围内可指定任意长度。

联系方式

北京羲和阳光科技发展有限公司

联系人:
包经理女士
手机:
18618315708
传真:
010-60290891
所在地:
北京市
类型:
工厂
地址:
北京大兴区西红门路26号明珠商务7A-306

服务热线

+86-010-60290891

QQ:1419343158 
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