| 产品名称 | PVD1612 | 数量 |
| 真空系统 |
1.预抽泵2x70旋片泵一台（南光）； 2.维持泵2x70旋片泵一台（南光）； 3.RTO·300S罗茨泵一台（上海萃曼）； 4.F400/3500分子泵三台； 5.阀门：前级阀、预抽阀、维持阀以上为GDQ100型不锈钢结构，GDZ400D/T髙阀为不锈钢结构；DDC-JQ80型电磁真空带充气阀为上海二阀产品，旁通阀为罗茨泵内安装阀； 6.不锈钢管道。 |
1套 |
| 真空室 |
1.罐体材料为304不锈钢带夹层水冷套结构，内尺寸Φ1600x1200mm，内壁厚10mm，水冷套壁厚4mm，罐体抽气口两侧留六个弧源口，上盖板布置六对（12支）圆柱靶位（可与平面靶互换），其中两对预留； 2.挂杆2套； 3.内衬板2套； 4.布气管路。 |
1套 |
| 偏压电源 | 脉冲逆变PLS30KW（珠海盛普） | 1台 |
| 中频电源 | 中频逆变MF40KW（珠海盛普） | 4台 |
| 弧电源 | 直流逆变DC160A（深圳瑞凌） | 6台 |
沈阳威利德真空技术有限公司
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