| 产品名称 | PVD1006 | 数量 |
| 真空系统 | *VDN901直升泵二台（爱发科） *RTO·150S罗茨泵一台（上海萃曼） *TYFB-3600分子泵一台（泰岳恒） *阀门：高阀型号为：GDZ400B型，整阀由太钢304不锈钢焊接而成，前级阀、预抽阀、维持阀型号为：GDQ100型，旁通阀为罗茨泵内安装阀； *管道为全不锈钢结构。 | 1套 |
| 真空室 | *由太钢304不锈钢焊接而成，带水冷套，内尺寸?1000X600mm，2对平面靶安装于罐体内，抽气口右侧分一列布置二个弧源位，门上一个观察窗。 *工件支杆2套（20支），?8mm； *内衬板2套（厚度0.8mm）； *布气管路； *放气阀加装空气滤清器 *转架为下转架，带屏蔽罩。 | 1套 |
| 弧电源 | 直流逆变DC160A（深圳瑞佳） | 2台 |
| 偏压电源 | 脉冲逆变30KW（珠海盛普） | 1台 |
| 中频电源 | 中频逆变20KW（珠海盛普） | 2台 |
沈阳威利德真空技术有限公司
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