| 产品名称 | PVD1210A | 数量 |
| 真空系统 |
1.2x30旋片泵一台（南光）； 2.2x70旋片泵一台（南光） 2.RTO·300S罗茨泵一台（上海萃曼）； 3.KT400扩散泵两台（兰州真空）； 4.阀门：前级阀、预抽阀、维持阀以上为GDQ100型不锈钢结构，DDC-JQ65、DDC-JQ80型电磁真空带充气阀为上海二阀电磁阀，旁通阀为罗茨泵内安装阀； 5.管道为全不锈钢结构，罗茨泵、机械泵出口连接为波纹管连接。 |
1套 |
| 真空室 |
1.罐体材料为304不锈钢带夹层水冷套结构，内尺寸Φ1200x1000mm，内壁厚8mm，外壁厚4mm，上盖板布置2对（4支）磁控靶，罐体两侧预留一对平面靶孔位，抽气口两侧排布两组6支弧源，门上两个观察窗； 2.工件支杆2套?8mm； 3.内衬板2套； 4.布气管路； 5.放气阀加装空气滤清器； 6.转架为下转架，带屏蔽罩。 |
1套 |
| 偏压电源 | 脉冲逆变PLS30KW（珠海盛普） | 1台 |
| 中频电源 | 中频逆变MFMS-40KW（深圳新达） | 2台 |
| 弧电源 | 直流逆变DC160A（深圳瑞凌） | 6台 |
沈阳威利德真空技术有限公司
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