| 产品名称 | PVD1010B | 数量 |
| 真空机组 | *2X-30旋片泵一台（成都南光） *2X-70旋片泵一台（成都南光） *RTO·300S罗茨泵一台（上海萃曼） *KT-500扩散泵一台（沈阳真龙） *阀门：GDZ500C高阀为不锈钢结构，前级阀、预抽阀为不锈钢结构GDQ100型，维持阀DDC65、压差阀DDC80为上海二阀电磁阀，旁通阀为罗茨泵内安装阀； *管道为全不锈钢结构。 *DB500冷阱为碳钢（沈阳真龙）。 | 1套 |
| 罐体 | *304不锈钢带夹层水冷套结构，内尺寸?1000X1000mm，一支中柱靶，抽气口两侧分二列布置六个弧弧源位，门上两个观察窗。 *灯丝支杆一套； *工件支杆3套（36支），?8mm； *内衬板2套（厚度1mm）； *布气管路； *放气阀加装空气滤清器 *转架为下转架，带屏蔽罩。 | 1套 |
| 偏压电源 | 脉冲逆变30KW（珠海盛普） | 1台 |
| 弧电源 | 直流逆变DC160A（深圳瑞佳） | 6台 |
沈阳威利德真空技术有限公司
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