| 产品名称 | PVD1212 | 数量 |
| 真空系统 |
*2X-30旋片泵一台（南光）； *2X-70旋片泵一台（南光）； *RTO·300S罗茨泵一台（上海萃曼）； *K400T扩散泵二台（兰州真空）； *阀门：前级阀、预抽阀、维持阀以上为GDQ100型不锈钢结构，GDZ400D/T高阀位不锈钢结构；DDC-JQ80型电磁真空带充气阀为上海二阀产品，旁通阀位罗茨泵内安装阀； *不锈钢管道。 |
1套 |
| 真空室 |
*罐体材料为304不锈钢带夹层水冷套结构，内尺寸Φ1250*1100mm，内壁厚8mm，水冷套壁厚4mm，灌体抽气口两侧预留八个弧源口，门两侧各布置一个圆柱靶筒，上盖布置两个圆柱靶法兰（预留）； *挂杆两套； *内衬板2套； *布气管路； *弧源挡板； *二位五通电磁阀为德国BURKERT产品。 |
1套 |
| 偏压电源 | 脉冲逆变PLS30KW（珠海盛普） | 1台 |
| 中频电源 | 中频逆变MF40KW（珠海盛普） | 2台 |
| 弧电源 | 直流逆变DC160A（深圳瑞凌） | 8台 |
沈阳威利德真空技术有限公司
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