- 品牌/商标：Vlead
- 企业类型：制造商
- 新旧程度：全新
- 原产地：沈阳威利德真空技术有限公司
| 产品名称 | PVD1612B | 数量 |
| 真空系统 |
1.2x30旋片泵一台（成都南光）； 2.2x70旋片泵一台（成都南光） 2.RTO·300S罗茨泵一台（上海萃曼）； 3.KT-500扩散泵两台（沈阳真龙）； 4.阀门：前级阀、预抽阀、维持阀以上为GDQ100型不锈钢结构，DDC-JQ80型电磁真空带充气阀为上海二阀电磁阀，旁通阀为罗茨泵内安装阀； 5.管道为全不锈刚结构，扩散泵出口为波纹管连接。 |
1套 |
| 真空室 | *罐体材料为304不锈钢带夹层水冷套结构，内尺寸?1600X1200mm，抽气口两侧分二列布置10个弧源位，预留两个平面靶，门上两个观察窗。 *工件支杆2套（40支），?14mm； *内衬板2套（厚度1mm）； *布气管路； *放气阀加装空气滤清器*转架为下转架，带屏蔽罩。 | 1套 |
| 弧电源 | 直流逆变DC160A（深圳瑞凌） | 10台 |
