红外退火炉产品特点
采用国外品牌部件：循环水路设计，带过滤部件，延长清洗炉体水路；红外灯管寿命5000小时，峰值波长约为1.25微米，炉体工艺镜面抛光。
高控温：模糊逻辑PID控温，控温可达±0.1℃。
快速控温：流密度红外灯设计，24秒内仪器可快速升温至1150℃；同时，炉体的热容小，配合的冷却系统，可实现快速降温。
异常报警保护：温和流量异常时均会自动切断加热，保护炉膛，报警的效果。
洁净控温：非电阻炉加热，无热保温材料，更适合在洁净环境中使用。
可扩展性：带观察窗，可配CCD，采集光学信号；预留接口，可加载电学测量模块等。
红外退火炉应用功能
强诱导体薄膜的结晶化退火
注入离子后的扩散退火
半导体材料的烧成与退火条件研究
快速热退火、热氧化和热氮化
电合金化
晶向化和坚化
石墨烯等气相沉积
碳纳米管等外延生长
单晶基板热处理
红外退火炉技术参数
型号 | IRLA-1200 |
温度范围 | RT~1150℃ |
温控 | ±0.1℃ |
升温速率 | 45℃/s (真空)，40℃/s (氮气) |
测试气氛 | 真空， N2 ，惰性气体 |
样品尺寸 | 20 x 20 x 2，单位mm |
处理材料类型 | 薄膜、粉体、块体、液体 |
温度传感器 | 标准K型热电偶 |
额定功率 | 4x(1KW-110V/根） |
温度程序模式 | 温度-时间设置，256步，32个程序，循环、保温等功能模糊PID逻辑控温，手动/自动开始，U485连接 |
外观尺寸 | 420X320X220，单位mm |
重量 | 20.5kg |
温升曲线图（1150℃）
