产品型号：膜厚测试仪CMI900
X射线荧光光谱仪
快速的分析：正比计数探测器和50瓦微焦X射线管，大大了灵敏度
简单的元素区分：二次光束过滤器可以分离重叠元素
性能优化，测量元素范围广： 可预设参数
CMI900 提供800多种预设应用参数/方法
出的长期稳定性：
自动热补偿测量仪器温度，纠正变化，提供稳定的结果
简单快速的光谱校准，定期检查仪器性能（如灵敏度），并提供要的纠正
坚固耐用的设计
可以在实验室或生产线上操作
坚固的工业设计
经行业验证的技术，在销售量过3000台
要特点
测量范围宽，可检测元素范围：Ti22–U92；
可同时测定5层/15种元素/共存元素较正；
高、稳定性好；
强大的数据统计、处理功能；
NIST的标准片；
服务及支持。
参数介绍：
1.X射线激发系统
垂直下照式X射线光学系统
空冷式微聚焦型X射线管，Be窗
标准靶材：Rh靶；任选靶材：W、Mo、Ag等
功率：50W(4-50kV，0-1.0mA)
装备有射线光闸
二次X射线滤光片：3个位置程控交换，多种材质、多种厚度的二次滤光片任选
2.准直器系统
单准直器组件、多准直器自动控制组件：多可同时装配6种规格的准直器
多种规格尺寸准直器任选：
－圆形，如4、6、 8、 12、13、20 mil等
即0.102、0.152、0.203、0.305、0.330、0.508mm
－矩形，如1x2、2x2、0.5x10、1x10、2x10、4x16mil等
即0.025*0.05、0.05*0.05、0.013*0.254、0.025*0.254、0.051*0.254、0.102*0.406mm
测量斑点尺寸在12.7mm聚焦距离时，小测量斑点尺寸为：0.078 x 0.055 mm(使用0.025 x 0.05 mm<即1x2mil>准直器)在12.7mm聚焦距离时，测量斑点尺寸为：0.38 x 0.42 mm(使用0.3mm<即圆形12mil>准直器)
3.样品室
开槽式样品室样品台尺寸610mm x 610mmXY轴移动范围标准：152.4 x 177.8mm<程控> Z轴程控移动高度43.18mmXYZ轴控制方式多种控制方式任选：XYZ三轴程序控制；XY轴手动控制和Z轴程序控制；XYZ三轴手动控制
4.样品观察系统
高分辨彩色CCD观察系统，标准放大倍数为30倍。50倍和100倍观察系统任选。激光自动对焦功能可变焦距控制功能和固定焦距控制功能计算机系统配置IBM计算机
