NA MASTER(那诺-马斯特)提供的双蒸发源系统支持标准坩埚，用于和金属材料的热蒸发。设计充分考虑清洁、均匀度、可控性、可重复性、小占地面积，持续性控制加热器电流。型号包含NTE-3000，NTE-4000。
热蒸镀系统
NA-MASTER(那诺-马斯特) NTE-3000是一款PC计算机控制的台式热蒸发系统，在物和金属沉积方面具有广泛的应用。设备的设计经过慎重的考虑:在小的占地面积情况下实现干净、均匀、可控及可重复的工艺过程。它们具有格, 以及力的特点，可满足于客户研发及小规模生产的应用要求。 NTE-3000热蒸发系统可以在设定的RMS电流下，或者在闭环的配置下操作，并且在这种情况下沉积速度的变化被用于调节RMS电流以维持恒定的沉积速度。
NTE-4000是一个式热蒸发系统，提供更多的空间可用于支持额外的能力，如共蒸发、双蒸发以及溅射等。
产品特点：
可支持7”的方片或200mm的晶圆片
沉积速度可控
旋转的样品台
双坩埚或舟
2KVA SRC控制电源
晶振式膜厚监测仪
通过LabView软件实现PC计算机控制
产品型号：
NTE-4000：基于PC计算机全自动控制的系统
NTE-3500：基于PC计算机全自动控制的紧凑型系统
NTE-3000：基于PC计算机全自动控制的双蒸发源台式系统
NTE-1000：计算机控制的单蒸发源台式系统
带遮板的双坩埚源
