BD6探针台

　　总体规格特点：
　　* 重量：50kg（含显微镜）。
　　* 尺寸：590mm宽＊500mm长＊700mm高（含显微镜）。
　　* 优化的人体工学设计，便于工程师长时间舒适的操作。
　　
　　显微镜操控规格：
　　* 在探针台右侧有大摇杆，提起90度后，可以使显微镜快速倾仰抬起，方便在测试时更换物镜镜头。
　　* 显微镜后侧有X／Y轴调节小摇轮，可调节显微镜在x-y方向的移动，移动范围2"X2"，1μm.
　　* 显微镜Z轴带有调焦粗旋钮和细旋钮，粗旋钮方便快速调焦，细旋钮方便调焦，使显微镜在Z轴方向行程50.8mm，移动1μm.
　　
　　台面规格：
　　* 探针台台面平整度：5μm.
　　* 探针台左侧有摇杠可以控制台面快速上下升降6mm.在探针台加装探针卡点测wafer时方便对die的重选择。
　　* 探针台右上方有转轮摇杆，摇动时可使台面线性上下升降，升降范围25mm，1μm.在探针台加装探针卡点测wafer时方便对die的复位。
　　
　　卡盘（载物台，即图中的chuck）规格：
　　* 6"卡盘，卡盘平整度：5μm，采用真空吸附方式吸附，带真空吸附孔，中心孔径250μm-1mm（可根据客户需求定制孔径大小），小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm，能够吸住尺寸为6"X6"。
　　* 卡盘可360度旋转，旋转角度可微调，微调为0.1度，带角度锁定旋钮。
　　* 卡盘X，Y轴调节旋钮可以控制卡盘做X-Y方向的移动，移动范围为6"X6"，移动为1μm，为方便点测的稳定性，带有锁住功能。如果点测6"wafer的时候，可以6"wafer的每一点够点测到。