PE-4探针台

　　特征：
　　* 尺寸小型化
　　* 轻量化
　　* 方案
　　* 电学、光学领域应用
　　* 发光二管、激光二管、PD的光强度和波长测量
　　* 射频探测
　　* 适用于大学、实验室
　　* 4英寸以下晶圆的理想选择
　　* 侧面调节吸盘
　　* 无回差调节
　　规格：
　　* 真空吸盘材质：4英寸不锈钢（平整度±10* m）
　　* 吸盘调节行程：3英寸X 3英寸（10* m）
　　* 吸盘调节角度：0～30度
　　* 吸盘：三条真空线槽对应不同尺寸样品
　　* 样品尺寸：5mm X 5mm 至 4英寸
　　* 台板：可容纳多6个探针座
　　需求：
　　* 电力需求：220V 50Hz交流电
　　* 真空泵：真空压强-250毫米汞柱（约-33.3KPa）
　　尺寸：
　　* 320mm宽X 320mm长X 400mm高（包括显微镜）
　　* 净重 20Kg，包括显微镜
　　
　　附件
　　* 吸盘推向位置（chuck stage push to position）
　　* 真空控制的吸盘调节系统
　　* 显微镜倾斜机构以及准确位置快速转换机构
　　* 光强度／波长测量适配器
　　* 射频探针／电缆
　　* 有源探针
　　* 低电流／低电容探针
　　* 高压探针
　　* 声波切割机（cutter）
　　* 视频监控
　　* 显微摄影
　　* 封装器件夹具
　　* PCB夹具
　　* 液晶套件
　　* 振桌面
　　* 屏蔽箱
　　* 测试工作台
　　* 带脚轮的设备箱
　　* 吸盘真空图样（Pattern）
　　* 镀金吸盘
　　
　　选件和升级需要的配件：　　
　　* 卡盘可升级为高温卡盘，可做高温点测。　　
　　* 可以选配探针卡的夹具，将探针卡通过夹具放置在探针台上，进行wafer的测试。
　　圆形探针卡方形探针卡
　　* 探针台可升级进行射频点测
　　射频探针射频夹具　　
　　* 低电流点测和低电容点测
　　管状双屏蔽（Triaxial）探针杆双屏蔽（Triaxial）卡盘　　
　　双屏蔽（Triaxial）线缆双屏蔽（Triaxial）转接头　　
　　* 大电流点测
　　弹簧夹具线缆　　
　　* 探针台平台升降螺旋测微计
　　为探针台平台升降提供测量，可以记录平台坐标，方便重复定位。　　
　　* 卡盘水平移动光学尺
　　为卡盘水平移动提供测量，可以记录卡盘坐标，方便重复定位。　　
　　* 显微镜Z轴方向气动定位
　　方便显微镜操作，更加精准。