总体规格特点：
* 重量：60kg（含显微镜）。
* 尺寸：580mm宽＊460mm长＊700mm高（含显微镜）。
* 优化的人体工学设计，便于工程师长时间舒适操作。
显微镜操控规格：
* 显微镜后侧有X／Y轴调节小摇轮，可调节显微镜在x-y方向的移动，移动范围2"X2"，10μm.
* 显微镜Z轴带有调焦粗旋钮和细旋钮，粗旋钮方便快速调焦，细旋钮方便调焦，使显微镜在Z轴方向行程50.8mm，移动10μm.
台面规格：
* 探针台台面平整度：5μm.
* 探针台台面为固定台面。
卡盘（载物台，即图中的chuck）规格：
* 6"卡盘，卡盘平整度：5μm，采用真空吸附方式吸附，带真空吸附孔，中心孔径 250μm-1mm（可根据客户需求定制孔径大小），小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm，能够吸住尺寸为6"X6"。
* 卡盘可360度旋转，旋转角度可微调，微调为0.1度，带角度锁定旋钮。
* 卡盘座有小摇杆，提起90度后，可以使卡盘快速线性上升4mm，在做wafer点测时方便快速移动点测位置，同时做普通die或者decap后芯片点测时，方便快速更换样品。
* 卡盘X，Y轴调节旋钮可以控制卡盘做X-Y方向的移动，移动范围为6"X6"，移动为10μm，为方便点测的稳定性，带有锁住功能如果点测6"wafer的时候，可以6"wafer的每一点够点测到。
* 重量：60kg（含显微镜）。
* 尺寸：580mm宽＊460mm长＊700mm高（含显微镜）。
* 优化的人体工学设计，便于工程师长时间舒适操作。
显微镜操控规格：
* 显微镜后侧有X／Y轴调节小摇轮，可调节显微镜在x-y方向的移动，移动范围2"X2"，10μm.
* 显微镜Z轴带有调焦粗旋钮和细旋钮，粗旋钮方便快速调焦，细旋钮方便调焦，使显微镜在Z轴方向行程50.8mm，移动10μm.
台面规格：
* 探针台台面平整度：5μm.
* 探针台台面为固定台面。
卡盘（载物台，即图中的chuck）规格：
* 6"卡盘，卡盘平整度：5μm，采用真空吸附方式吸附，带真空吸附孔，中心孔径 250μm-1mm（可根据客户需求定制孔径大小），小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm，能够吸住尺寸为6"X6"。
* 卡盘可360度旋转，旋转角度可微调，微调为0.1度，带角度锁定旋钮。
* 卡盘座有小摇杆，提起90度后，可以使卡盘快速线性上升4mm，在做wafer点测时方便快速移动点测位置，同时做普通die或者decap后芯片点测时，方便快速更换样品。
* 卡盘X，Y轴调节旋钮可以控制卡盘做X-Y方向的移动，移动范围为6"X6"，移动为10μm，为方便点测的稳定性，带有锁住功能如果点测6"wafer的时候，可以6"wafer的每一点够点测到。
