?新设计低噪音线性伺服马达驱动系统,500mm/sec的扫描
?扫描测量轴,步测量轴,焦点测量
轴的分辨率可0.1μm的高精解析
?具有可移动的穿透法扫描功能
?扫描范围:200mm×150mm
?0.1μm 编码器分辨率
?焦点测量轴的位移:
50mm/0.1μm分档器分辨率
?仪器尺寸:
495(W)×386(D)×450(H)mm
扫描仪 IS-350
?新设计低噪音线性伺服马达驱动系统
1000mm/sec的扫描
?0.5μm 编码器分辨率
?3轴,4轴或5轴系统
?扫描范围:350mm x 350mm
(300mm硅薄片检验,同时可测2枚JEDEC标准托盘)
?仪器尺寸:680(W)x 800(D)x 1320(H)mm
?操作系统:Windows 7/64bit
双探头(2CH)同时数据收集功能。
?效率和生产力的强化
?具有不同频率的探头
?具有不同焦点的探头
?2个焦点测量轴可同步测量也可分离测量
?脉冲反射法和穿透法的两种手法可同步使用
Insight Image 软件
?多层扫描图像
?正数值,负数值,值值的不同图像
?各A,B,C-层扫描可重复再建
?立体3D图像
?频率信号的模拟计算
C-层扫描设备
?3,4,5,6,7或8轴扫描系统
?多种伺服马达驱动系统可供选择
?35MHz和500MHz的接收器可专门配制
探头功能
?种微小电子部件和实装部件
(芯片,QSP,陶器,薄膜)
?复合材料的检测
?频率可提供1MHz-250MHz.