产品特点
■无接触和伤测量
■自动测量,具有传送系统,可进行连续测量
■快速测量,测试扫描速度2000mm/min
■测试范围广:包括硅块、硅棒、硅片等少子寿命测量
■主要应用于硅棒硅块、硅片的进厂、出厂检查,生产工艺过程中属沾污和缺陷的监控等。
■,地降低了企业的测试成本。
推荐工作条件
■温度:18-26℃
■湿度:10%~80%
■大气压:750&plun;30毫米汞柱
技术指标
■少子寿命测试范围:0.1μs-20ms
■测试扫描速度:2000mm/min
■测试尺寸:215mm*215mm*500mm
■电阻率范围:>0.1Ω。cm
■激光波长:904,测试功率范围:50-500mw
■硅棒硅块扫描间距:≥1mm
■仪器测试:&plun;3.5%,信号处理偏差≤2%
■工作频率:10GHz&plun;0.5
■微波测试单元功率:0.01W&plun;10%
■电源:~220V 50Hz 功耗<200W
■主机尺寸:365mm*645mm*565mm
■主机重量:30KG
典型客户
河北,江西,江苏,浙江,新疆等地拉晶铸锭客户。