Tropel®00®为精密部件的制造商提供了业界的表面形态测量。通过非接触式光学测量技术记录下整个表面的数据。00能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型和其他表面参数进行测量。
产品特点：
■无接触和伤测量
■适用多种类型材料：半导体，金属，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料
■适用多种类型晶片：硅/蓝宝石/碳化硅/砷化镓/石英/锗/铌酸锂
■适用多种类型表面：研磨表面，抛光面，光滑面
■测量多种不同指标：
厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/压力/翘曲度/弯曲度/平坦度/平面度/线轮廓/表面轮廓
■完整的分析系统：
三维/拓扑/合格率/分布/二维环形和半径切面/平面/球面/锥形匹配/局部平面度分析/斜度
■可以实现自动、快速、准确、稳定的测量
■过15年的工业应用，几百台的装机量。
技术参数：
■度：50nm（2.0μ″）
■重复性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）
■分辨率：5nm（0.2μ″）
■可测量工件尺寸：25mm-200mm
■动态测量范围：>100um
■测量数据点：230，000/measurement
■测量时间：5秒
■电源：～220V 50Hz.
产品特点：
■无接触和伤测量
■适用多种类型材料：半导体，金属，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料
■适用多种类型晶片：硅/蓝宝石/碳化硅/砷化镓/石英/锗/铌酸锂
■适用多种类型表面：研磨表面，抛光面，光滑面
■测量多种不同指标：
厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/压力/翘曲度/弯曲度/平坦度/平面度/线轮廓/表面轮廓
■完整的分析系统：
三维/拓扑/合格率/分布/二维环形和半径切面/平面/球面/锥形匹配/局部平面度分析/斜度
■可以实现自动、快速、准确、稳定的测量
■过15年的工业应用，几百台的装机量。
技术参数：
■度：50nm（2.0μ″）
■重复性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）
■分辨率：5nm（0.2μ″）
■可测量工件尺寸：25mm-200mm
■动态测量范围：>100um
■测量数据点：230，000/measurement
■测量时间：5秒
■电源：～220V 50Hz.
