性能指标
快速抽真空,小于2分钟
预设的快速操作
容易的条件设置
自动真空控制
完成镀膜,自动卸载真空,
样品高度调节方便,
靶的尺寸:直径50mm(Au/Pt)
电源:20V,60Hz/50Hz ,500W
离子流控制范围:1-7mA
外形尺寸:380(W)x 250(D)x 330(H)mm
样品室内径:100mm
旋片式机械真空泵:100L/min
咨询电话SERVICE LINE
86-10-62391190
18612544035
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