厚度测量范围:化学铜:0.25μm–12.7μm(0.01mils–0.5mils)
电镀铜:2.0μm–254μm(0.1mil–10mil)
线性铜线宽范围:203μm–7620μm(8mil–300mil)
仪器再现性:0.08μm at 20μm(0.003 mils at 0.79 mils)
显示单位:mil、μm、oz
操作界面:英文、简体中文
存 储 量:9690条检测结果(测试日期时间可自行设定)
测量模式:固定测量、连续测量、自动测量模式
统计分析:数据记录,平均数,标准差,上下限提醒功能CMI165配置包括:l CMI165主机l SRP-T1探头l NIST的校验用标准片1个