主要技术指标：
? 系统限真空度：进入3×10-4Pa
? 工作真空度：5×10-a
? 抽真空时间：冷态下30分种5×10-
? 设计温度：600℃
? 工作温度：常温到500℃可调。
? 温度均匀性：±5℃
? 控温仪：±0.5℃
? 加热及控制方式：采用铠装电阻丝加热器，并由PID控制。
? 系统启动2小时内均温状态。
? 系统限真空度：进入3×10-4Pa
? 工作真空度：5×10-a
? 抽真空时间：冷态下30分种5×10-
? 设计温度：600℃
? 工作温度：常温到500℃可调。
? 温度均匀性：±5℃
? 控温仪：±0.5℃
? 加热及控制方式：采用铠装电阻丝加热器，并由PID控制。
? 系统启动2小时内均温状态。
