主要用途：为元器件进行高真空、中温退火处理。消除因点胶、微调等过程中产生的应力。
真空室规格（全不锈钢材料，牌号：SUS304）
真空室内部尺寸：两个真空室，每室内部尺寸为 500（W）Х450（D）Х530（H）mm。
内胆尺寸：426（W）Х420（D）Х456（H）mm。
器件托盘层数：6层。
真空室外壁采用水冷。
主要技术指标
加热温度：350℃
工作温度：室温至260℃或320℃连续可调，工作时可分阶段加热。每一阶段加热温度为可设。
温度均匀性：±10℃
温：15℃（升温阶段）
限真空度：2×10-6 托
工作真空度：5×10-5 托，工作真空度时间小于20分种。
工作方式：连续工作，可手动，可自动。
操作方式：触摸屏。
控制方式：PLC加温控模块（松下）
主要配置
主真空室：两个的真空室，操作。可同时工作也可单独工作。
真空获得部分：采用两级真空泵，级为机械泵（日本真空），第二级为复合分子泵（国产）。
真空阀门：不锈钢气动隔断阀（7台）。
真空测量部分：采用复合真空计（两台），低真空规为热偶规，高真空规为冷规。
加热方式：铠装电阻丝加热，每一真空室内分布7组加热器，每一组加热丝均可单独工作；并配8路热电偶，7路为控温用，另一路为测试比对用。
控温方式：PID自动调节，每一层由一的PID控制，每一层目标温度、输出功率、PID参数均可单独设定。
操作方式：触摸屏，参数均可通过触摸屏进行查阅。
设备工作环境
设备外形尺寸：1800（W）Х900（D）Х1800（H）mm
设备自重：600 kg
电源：3相380V 5线，60A
冷却水：0.2---0.5MPa，每分种流量10升。
压缩空气：0.5---0.8MPa
真空室规格（全不锈钢材料，牌号：SUS304）
真空室内部尺寸：两个真空室，每室内部尺寸为 500（W）Х450（D）Х530（H）mm。
内胆尺寸：426（W）Х420（D）Х456（H）mm。
器件托盘层数：6层。
真空室外壁采用水冷。
主要技术指标
加热温度：350℃
工作温度：室温至260℃或320℃连续可调，工作时可分阶段加热。每一阶段加热温度为可设。
温度均匀性：±10℃
温：15℃（升温阶段）
限真空度：2×10-6 托
工作真空度：5×10-5 托，工作真空度时间小于20分种。
工作方式：连续工作，可手动，可自动。
操作方式：触摸屏。
控制方式：PLC加温控模块（松下）
主要配置
主真空室：两个的真空室，操作。可同时工作也可单独工作。
真空获得部分：采用两级真空泵，级为机械泵（日本真空），第二级为复合分子泵（国产）。
真空阀门：不锈钢气动隔断阀（7台）。
真空测量部分：采用复合真空计（两台），低真空规为热偶规，高真空规为冷规。
加热方式：铠装电阻丝加热，每一真空室内分布7组加热器，每一组加热丝均可单独工作；并配8路热电偶，7路为控温用，另一路为测试比对用。
控温方式：PID自动调节，每一层由一的PID控制，每一层目标温度、输出功率、PID参数均可单独设定。
操作方式：触摸屏，参数均可通过触摸屏进行查阅。
设备工作环境
设备外形尺寸：1800（W）Х900（D）Х1800（H）mm
设备自重：600 kg
电源：3相380V 5线，60A
冷却水：0.2---0.5MPa，每分种流量10升。
压缩空气：0.5---0.8MPa
