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INFICON 的单一 Bayard-Alpert 热电真空计 BAG402，测量范围从
5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 至 5×10-2
Torr）。 INFICON BAG402 紧凑型主动真空计套装，在低成本、可
重复的工艺过程中进行基础压力测量。双丝极结构提供YOU异的
精度、长期稳定性 和长使用寿命。
n 测量范围从 5×10-10 mbar 到 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 到 5×10-2 Torr）
n 的可重复性，在 10-8 … 10-2 mbar 工艺压力范围内为 5%
n 过压检测保护，防止灯丝烧毁
n 两根长寿命氧化铱灯丝
n 发射电流，降低控制的繁琐
n 校准数据的传感器元件可保规管的高性，并且易于换
n 符合RoHS
订购信息
类型 BAG402BAG402 DSUB9 CF40 353-601BAG402 DSUB9 KF25 353-600
规格
类型 BAG402
测量范围 (空气, 氧?, ,
氮?)
mbar 5×10?1? … 2.7×10?2
测量范围 (空气, 氧?, ,
氮?)
Torr
3.75×10?1? 5×10?2
精度
10?? … 10?2 毫巴 % of reading ±15
重复性
10?? … 10?2 毫巴 % of reading 5
除气 (1)
p < 7.2 × 10?? mbar electron bombardment, max. 3 min
压强, 大 bar (absolute) 2
温度
操作 (环境) °C 0 … +50
储存 °C -20 … +70
法兰口的烘烤，不带BPG402-
S电子单元
°C 80
供电电压 V (dc) +20 … +28
供电电压 A (dc) ≤0.8
输出信号模拟 (4)
输出信号 V 0 … +10
测量范围 log / lin V 0 … +9
错误信号 V > +10
输出信号模拟 (4)
电压 vs. 压强 volts per decade 1
输出信号模拟 (4)
负载阻抗, 小 k? 10
输出信号模拟 (4)
第二模拟输出 none
设点继电器
设数量 none
数字功能 degas and emission
接口 (数字) (2) Diagnosis port
发射控制 manual真空计真空计真空计
灯丝 two Yttriumoxid (Y?O?) coated Iridium (Ir)
灯丝状态 / 继电器 / relay
规格类型 BAG402电气连接 D-Sub, 9-pin, male电缆长度，大值 m (ft.) 100 (330)暴露于真空中的材料 Y?O?, Ir, Pt, Mo, NiFe, NiCr, stainless steel, glass内部容积 KF / CF cm3 (in.3) 24 (1.46) / 34 (2.1)重量 KF / CF g 450 / 710保护级别 IP301）除气期间准性降低2）不可同时使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器和现场总线备件BAG402备用传感器 BAG402 DN 25 ISO-KF 354-484备用传感器 BAG402 DN 40 CF-R 354-485附件BAG402Diagnostic cable 1.9m (P3) 303-333
