1、系统限真空度:<5×10-5Pa
2、工作真空度:5×10-3 Pa
3、加热温度:650℃
4、工作温度:600℃
5、温度均匀性: ±4℃(600℃时)
6、温度调范围: <4℃(600℃时)
7、真空室内部均温区:?300×320
8、真空室内部尺寸:?600×600
9、控制方式:PLC与温控模块,多点控温
10、操作方式:触摸屏
可根据用户需求设计、加工、组装。

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