重量:45Kg
类型:手动的
测量样本大小:点 8", 12"
测量方法:无连接的
测量原理:反射计
特点: 测量,操作简单
非接触式,非破坏方式
活动范围:200mm x 200mm(8"), 300mm x 300mm(12")
测量范围:100Å~ 35㎛(Depends on Film Te)
光斑尺寸:40㎛/20㎛, 4㎛(option)
测量速度:1~2 sec./site
应用领域:All Capability of ST2000 & More Precision Measurement
Intended for Wafer Measurement & OLED
选项 Programmable Auto Z Stage
参考样品(K-MAC or KRISS or NIST)
焦点 Coaxial Coarse and Fine Focus Controls
附带照明 12v 100W Halogen Lamp