- 原产地：欧洲
主要特点：
1. 可以适用于Si，Ge，GaAs，InP，GaN, InSb，ZnS, GaN, SiC, 金属等的刻蚀
2. 可用于6”wafers
3. 氦气背面冷却
4. 8路气体，O2, SF6，CH4, H2, Cl2, N2, Ar, CHF3
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