- 原产地：美国
| 能力 | 数值 |
X, Y方向运动距离， | +/-6mm； | |
Z方向 | +/-0.5微米 | |
Theta; | +/-3°；0.001° | |
光罩旋转 | +/-15° | |
控制方式 | 软件控制，多种工艺参数可自行设定 | |
卡盘移动控制 | 电子杆 | |
光刻模式 | 靠近、软接、硬接和真空接触 | |
预对准能力 | X,Y方向+/-25微米；Theta 0.5° | |
精对准能力 | 小于1微米 | |
光罩尺寸 | 14”×14” | |
适用的样品尺寸 | 50 ～ 300mm | |
光源选择 | 近紫外，中紫外和深紫外 |
北京特博万德科技有限公司
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